UK MICRON OPTOELECTRONICS推出U-III表面粒子計數(shù)器：突破0.1微米檢測極限，重新定義半導(dǎo)體潔凈度標(biāo)準(zhǔn)

2025年3月6日——***的光電技術(shù)企業(yè)UK MICRON OPTOELECTRONICS正式發(fā)布全新升***的U-III表面粒子計數(shù)器。該產(chǎn)品專為高潔凈度制造場景設(shè)計，采用革命性激光傳感技術(shù)與智能采樣系統(tǒng)，可檢測0.1微米***表面顆粒污染，助力半導(dǎo)體、液晶面板及精密電子行業(yè)實現(xiàn)更高良率與可靠性。

核心技術(shù)創(chuàng)新

納米***檢測能力

U-III搭載HeNe激光傳感器，分辨率達0.1微米，支持0.1-5.0微米顆粒粒徑的六通道分類統(tǒng)計（0.1/0.2/0.3/1.0/3.0/5.0μm），覆蓋半導(dǎo)體制造中對超細微粒的嚴苛檢測需求。

靜態(tài)采樣模式：通過優(yōu)化氣流控制，減少測量誤差，提升數(shù)據(jù)穩(wěn)定性。

智能化設(shè)計與操作體驗

7英寸高分辨率觸控屏：支持實時數(shù)據(jù)可視化與交互操作，簡化流程。

雙電池?zé)岵灏蜗到y(tǒng)?：支持連續(xù)生產(chǎn)場景下的不間斷作業(yè)，電池更換無需停機。

USB數(shù)據(jù)接口與軟件升***?：便捷導(dǎo)出檢測報告，并可通過固件更新持續(xù)優(yōu)化性能。

行業(yè)應(yīng)用與效益

提升制造效率

減少50%自凈時間?：通過量化表面污染數(shù)據(jù)，縮短設(shè)備維護周期（PM周期），提升產(chǎn)線吞吐量。

延長MTBC（平均無故障周期）：結(jié)合顆粒控制策略，關(guān)鍵設(shè)備可靠性提升4倍以上。

覆蓋高潔凈場景

半導(dǎo)體制造：晶圓表面、機臺內(nèi)腔等關(guān)鍵區(qū)域的潔凈度驗證。

精密光學(xué)與電子：液晶面板、光學(xué)鏡片組件、醫(yī)療器械的表面污染控制。

符合***際標(biāo)準(zhǔn)

產(chǎn)品嚴格遵循ISO-14644-9表面粒子控制規(guī)范，為半導(dǎo)體廠商提供標(biāo)準(zhǔn)化檢測工具。

市場評價與展望

U-III的發(fā)布標(biāo)志著表面污染監(jiān)測技術(shù)邁向納米***精度時代。行業(yè)分析師指出，該設(shè)備通過量化顆粒數(shù)據(jù)與智能反饋機制，將推動半導(dǎo)體制造從“經(jīng)驗驅(qū)動”向“數(shù)據(jù)驅(qū)動”轉(zhuǎn)型，進***步降低因微粒污染導(dǎo)致的良率損失。目前，QIII系列已獲得多******際頭部晶圓廠的采購意向，預(yù)計將在2025年第二季度實現(xiàn)量產(chǎn)交付。

關(guān)于UK MICRON OPTOELECTRONICS?

作為光電傳感領(lǐng)域的領(lǐng)軍企業(yè)，UK MICRON OPTOELECTRONICS持續(xù)深耕半導(dǎo)體檢測與精密光學(xué)技術(shù)，其產(chǎn)品線覆蓋表面微粒檢測、激光粒度分析及高精度熱成像等場景。

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