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DIENER PLASMA ATTO 等離子清洗機(jī)

10.5升的LOW-COST-PLASMA-LABORANLAGE ATTO 為手動(dòng)型，

配有 PC 和 PCCE 控制系統(tǒng)，

主要用于以下領(lǐng)域：小批量生產(chǎn)，分析 (REM, TEM)，醫(yī)療技術(shù)，滅菌，研究和開發(fā)部門，考古，紡織技術(shù)，塑料技術(shù)。

系列

Atto 手動(dòng)控制

Atto 外部PC控制

Atto 集成PC控制

控制系統(tǒng)

手動(dòng)型、通過(guò)模擬計(jì)時(shí)器測(cè)定工藝時(shí)間

PC-控制系統(tǒng) (Microsoft Windows XP)

PC-控制系統(tǒng) (Microsoft Windows CE)

體積

10.5L

真空腔室

玻璃材質(zhì)、? 211 mm、長(zhǎng) 300 mm

樣品支架

1個(gè)樣品支架

氣源

2 個(gè)由針型閥控制的氣體通道

2 個(gè)由 MFCs 控制的氣體通道

2 個(gè)由 MFCs 控制的氣體通道

高頻電流發(fā)生器

40 kHz/200 W 或者 13.56 MHz/50 W 固定搭配

真空泵

5 m3/h

外尺寸

寬 525 mm、高 275 mm、深 450 mm

電源電壓

AC220V

DIENER PLASMA ATTO 等離子清洗機(jī) 核心參數(shù)

自動(dòng)化: 手動(dòng) 樣品腔尺寸: Dia.211x300mm

樣品腔容積: 10.5L 射頻功率: 200/300W

頻率: 40kHz,13.56MHz