***、用途：
TGP-40C大平臺硅片檢測顯微鏡是適用于對太陽能電池硅片的顯微觀察。本儀器配有大移動范圍的載物臺、落射照明器、長工作距離的平場消色差物鏡、大視野目鏡，圖像清晰、襯度好，同時配有偏光裝置，及其高像素的數碼攝像頭.是檢測太陽能電池硅片的”金字塔” 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析的理想儀器.
硅片檢測顯微鏡可以觀察到肉眼難觀測的位錯、劃痕、崩邊等;還可以對硅片的雜質、殘留物成分分析.雜質包括: 顆粒、有機雜質、無機雜質、金屬離子、硅粉粉塵等，造成磨片后的硅片易發(fā)生變花、發(fā)藍、發(fā)黑等現象，使磨片不合格. 是太陽能電池硅片生產過程中必不可少的檢測儀器.
二、技術參數
1.目鏡
| 類 別 | 放大倍數 | 視場（mm） |
| 大視野目鏡 | 10X | φ18 |
2.物鏡
| 類 型 | 放大倍數 | 數值孔徑NA | 工作距離（mm） |
| 物鏡 | 4X | 0.10 | 18.3 |
| 10X | 0.25 | 8.9 |
| PC20X | 0.40 | 8.7 |
| PC40X | 0.65 | 3.7 |
3.光學放大倍數：40X －－ 500X
4.濾色片組：黃色、藍色、綠色、磨砂玻璃
5.偏光裝置：可插入式起偏振片和三目頭內置檢偏振片
6.載物臺：（配有快速移動裝置）
尺寸：400*300mm 移動范圍：254*254mm[標配]
7.粗微同軸調焦機構，微動手輪格值：0.002mm
8.落射照明器：12V/50W鹵素燈，亮度可調
9.防霉：特有的防霉系統
10.成像系統:日本專業(yè)進口攝像頭或500萬高像素的數字攝像頭
三、系統組成
大平臺硅片檢測顯微鏡（TGP-40C）: 1.顯微鏡 2.適配鏡 3、進口專業(yè)攝像頭 4、計算機
四、總放大參考倍數
電腦型硅片檢測顯微鏡（TGP-40C）：50－－40000倍 （17寸顯示器為例）
五、選購件
1.硅片專用測量軟件TX-3000C 2.目鏡： 20X 10X（帶刻度）
滬公網安備31011502016460號
