北京飛凱曼公司提供光子晶體探測器型橢偏儀。這種光子晶體探測器型的橢偏儀是有日本Photonic Lattice公司***創，并應用到橢偏儀的測試中。日本Photonic Lattice公司在光子晶體的研究和制造領域世界，由此開發出的光子晶體探測器型橢偏儀具有測試速度快、測量準確、免維護、價格低廉等特點已經在光學薄膜、半導體薄膜、有機薄膜等領域有著廣泛的應用。該橢偏儀可快速準確測量薄膜的厚度和折射率的分布。
相比傳統的光譜型橢偏儀，光子晶體探測器型橢偏儀避免了探測器的機械運動。使得測試速度更快、測試更加準確、成本更加低廉。
ME-210型光子晶體探測器型橢偏儀特點：
1） 可用于8英寸樣品的3D快速成像
2） 可用于厚度差異小于1nm以內的薄膜的快速和高精度成像
3） 超高速測量，速度可達20000點/分鐘
4） 超高分辨率的測量，*小面積可達50um2
5） 可進行透明基底上的薄膜的測試
技術規格：
型號 | ME-210/110 |
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重復性精度 | 0.1nm（厚度）, 0.001（折射率） |
測量速度 | 每分鐘1000個點以上 |
光源 | 636nm 半導體激光器 |
測量點尺寸 | 0.5mm2 |
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入射角 | 70度 |
樣品尺寸 | 8英寸（可選12英寸） |
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儀器尺寸和重量 | 650x650x1740mm/120kg |
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數據接口 | 千兆以太網（攝像機信號），RS-232C |
電源 | AC100-240V（50/60Hz） |
軟件 | SE-View |
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