薄膜反射和透射的在線監測系統 RT Inline

 

反射率、透射率和膜厚的高速在線測量是RT Inline的設計特點。傳感器頭陣列掃描薄膜在大型玻璃基板上的反射和/或透射，作為內部參考測量。利用FTPadv Expert軟件可以方便地進行層沉積過程的在線監測。軟件接口可用于與主機的數據通信。

 

高速薄膜測量

借鑒內部參考技術，不需要在單獨的位置上進行外部參考測量。這保證了連續多點薄膜測量的速度。

 

多探頭裝置

多達7個傳感器探頭由***個控制器驅動，為均勻性監測提供了具有成本效益的解決方案。

 

SENTECH軟件

易于使用、基于配方的FTP軟件包括***個大型的預定義應用數據庫，這些應用符合研發以及生產環境中的質量控制要求。

 

RT inline 薄膜測量系統是為沉積過程的在線質量控制而設計的。該方法基于SENTECH***的薄膜厚度探針FTPadv，用于測量反射率和薄膜厚度。它分別工作在420～1050 nm、2000～2500 nm的光譜范圍內。可以分析光滑和紋理結構的TCO薄膜、CdS薄膜、a-Si、µ-Si、CIGS和CdTe吸收膜。

 

通過RT inline，可以無損傷地監測大型玻璃基板或塑料線圈上TCO、吸收層和緩沖層沉積的均勻性。薄膜厚度和反射率測量是通過固定安裝的傳感器探頭在玻璃基板上方從沉積設備傳送到下***個工藝期間進行的。

 

***個控制器可以操作多達7個傳感器，使得RT inline測量儀器具有成本效益、靈活性和生產性的結果。選配的超聲傳感器控制探頭和玻璃平臺之間的距離，以排除錯誤的測量結果。

 

SENTECH配方驅動的FTP軟件FTPadv Expert包括預定義的即用應用程序綜合包。它提供了***個選配的軟件接口，用于將數據從測量儀器傳輸到主機。因此，可以通過來自主機或傳送的信號手動或自動進行薄膜測量。

 

使用SENTECH SENresearch光譜橢偏儀開發的配方可以直接傳輸到RT inline中。基于這樣的光譜數據，甚至可以在線測量復雜的層疊膜。

 

 

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上***個：MDPinline 光伏測量儀器