型號：CM-4
CM-4簡易探針臺 Mini Probe Station
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類型 | 規格 |
Chuck（卡盤） | 尺寸：4英寸，圓形 |
材質：不繡鋼（可升***鍍金） |
旋轉角度：0-360°可帶角度鎖定，精度0.1° |
X-Y移動行程：2" x3"，移動精度：10um（可升***為1um精度） |
吸附孔：中心孔徑*小可做到250微米，*小可以吸住尺寸為0.3mmX0.3mm，能夠吸住尺寸為4"X4" |
整體規格 | T型平臺，輕巧方便。 |
平整度：5um，平臺特殊處理，使得探針座吸附更牢固 |
外尺寸：400mm長×380mm寬×450mm高(帶顯微鏡) |
重量：20KG（帶顯微鏡） |
規格：
1、固定樣品方式：真空吸附
2、chuck尺寸：4英寸，圓形（方形可選）
3、chuck材質：不銹鋼（可升***鍍金）
4、chuck旋轉：0-360°可帶角度鎖定，精度0.1°
5、chuck在X-Y軸上的移動行程：4" x4"，移動精度：10um（可升***為1um精度）
6、針座平臺：U型平臺，可放置6-8個針座
7、平臺升降：可快速升降5mm
顯微鏡：體式三目顯微鏡，含CCD接口
顯微鏡放大倍率：16倍~100倍，可加2X輔助物鏡物鏡到200倍
顯微鏡在Z軸方向的調節范圍：50.8mm
機臺尺寸：400mm長 x 400mm寬 x 500mm高(帶顯微鏡)
整機重 量：30 Kg (帶顯微鏡)
特點：
1、4 inch樣品臺
2、緊湊的結構
3、輕巧的重量
4、實惠的價格
5、可以做光電方面測試
6、LED/LD/PD的光強/波長測試
7、可以進行射頻測試
8、加裝東/西方向針座
9、適合大學實驗室通用
10、適合4“以下晶圓測試
11、無后座力移動
滬公網安備31011502016460號
